首先因素是零件本身的加工精度差，一般來說如果在安裝的時候，軸間的動態誤差沒有調整好，亦或者是因為軸傳動鏈因為磨損產生變化都會影響零件的精度。一般來說這種類型的誤差導致的精度篇查可以重新調整補償量解決。而誤差如果太大甚至如果產生報警的話，有必要對伺服電機進行檢查，觀察其轉速是否過高。
其次因素是機床在運行時超調也會影響加工精度，有可能是因為加減速時間過短，適當的延長變化時間，當然了也極有可能是因為絲杠與伺服電機的鏈接產生松動。
然后因素是因為兩軸聯動產生的圓度超差，機械未調整好形成圓的軸向變形，軸的絲杠間隙補償不對或者是軸定位發生偏移，都可能會對精密零件的精度產生影響。